二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9230371 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种自动化晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体行业的需求。它利用先进的光学干涉测量技术，在直径200毫米和300毫米的多个晶圆上测量厚度、曲率、光学特性和其他材料细节。KLA Alpha Step 500有一个专门针对半导体行业而设计的3轴调节平台，允许它在各种测量配置中容纳各种晶圆大小和样品。此平台最多可支援6个晶圆同时测量，也能一次扫描多个晶圆。系统底部的激光对准单元允许晶片与单元精确对准，而其移动平台和机器人自动放大器则提供精确的移动和样品处理能力。该机的核心测量元件是一个集成干涉仪，能够高精度地对样品进行精确的高分辨率（<1nm）测量。干涉仪的设计将超精确定位力学与谐振频率技术相结合，实现了无与伦比的稳定性和准确性。这种干涉仪能够进行最高分辨率的测量，还可以在弯曲和不均匀的表面上进行无像差的测量。它还支持一套功能,例如高级工具级诊断和维护实用程序。TENCOR ALPHASTEP 500的集成软件允许用户从资产的基本测量模式轻松过渡到可编程模式，提供了广泛的过程可靠性和高级自动化测试。该软件还包括数据分析、分析和趋势跟踪等功能。除了集成软件外，这种型号还兼容各种不同的软件包，可以根据用户的特定需求量身定制。KLA/TENCOR ALPHASTEP 500是精确晶圆检测和表征的理想工具。它结合了高端性能、集成软件和可扩展性,使其成为任何半导体制造工厂的强大资产。