二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9257301 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种晶圆测试和计量设备,旨在满足半导体制造商的最高需求。能够加工200毫米和300毫米超轻晶片;它具有先进的细长头部设计,可精确测量特定晶片表面的轮廓和尺寸。KLA Alpha Step 500精确测量的来源是其光学传感技术,利用3 D自动对焦和创新、专利的图像识别算法来实现扫描过程的卓越精度。这种光学技术与具有超稳定扫描级的先进机械设计相辅相成。TENCOR ALPHASTEP 500提供先进的自动化软件,具有预定义的应用程序和易于学习的用户友好GUI。它还具有广泛的软件编程选项,允许用户自定义操作。这使系统能够根据特定的客户需求和需求进行定制。TENCOR Alpha Step 500可以通过其确定性形状识别算法来测试门高、线宽、接触区域等复杂形状等复杂结构。这包括从高精度参考图像测量通孔、沟槽和沟槽的外部边缘(大小)。KLA ALPHASTEP 500还能够与广泛的边缘探测器结合测量步高、薄膜层和其他表面特征。此外,它为用户提供了生成晶圆表面详细地图的能力,使他们能够可视化数据,如剖面图和缩放表面地形的形态图。此外,KLA/TENCOR ALPHASTEP 500还提供高级流程控制(APC)功能。其中包括自动晶圆测量和修正晶圆优化过程中发生的不对齐。该单元还提供用于生产控制、密度测量和用于产量分析的统计过程控制(SPC)的缺陷分类功能。ALPHASTEP 500是一种健壮、可靠且具有成本效益的晶圆测试和计量机。它的功能使其成为满足半导体制造需求的理想选择,而其内置的软件选项和丰富的定制功能为客户提供了进一步的价值。
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