二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9300224 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种晶圆测试和计量设备，设计用于可靠和准确的测量。它使用强大的软件和硬件对半导体晶片的物理特性进行高分辨率测量。该系统可用于半导体晶片薄膜的破坏性和无损性测试。对于无损测试，KLA Alpha Step 500使用共焦衍生成像（CDI），产生晶圆表面的三维图像。CDI图像允许精确测量和了解1nm以下的表面地形。为了进行破坏性测试，采用压电显微镜（PFM）对晶片结构进行成像，并测试薄膜应力。PFM使用纳米级悬臂尖探针与样品曲面交互,并创建晶圆顶面下方各层的图像。必须进行应力测量,以确保重要电路和电子元件的结构完整性。TENCOR ALPHASTEP 500使用两种不同的扫描探针显微镜（SPM）技术测量薄膜应力。当尖端被压入曲面时,两种技术都测量样品尺寸的变化。通过这些测量，可以确定样品的应力应变特性。ALPHASTEP 500也非常适合满足计量后分析和评审的全球行业标准。该单元执行各种任务，包括隔离和识别产品特性，同时分析和报告多个测试的结果，以及对晶片曲面执行自动检查和分析。最后,KLA ALPHASTEP 500提供业界领先的性能、准确性和可靠性。它具有高分辨率图像捕获机、易于使用的直观软件和自动扫描功能,可确保在较长时间内进行准确可靠的测量。