二手 KLA / TENCOR Alpha Step D-100 #293607100 待售

KLA/TENCOR Alpha Step D-100是一种设计用于半导体生产和纳米技术开发的高性能晶圆测试和计量设备。该系统能够对100 nm分辨率的各种样品类型进行2D光学检查和计量。该单元配备了定位精度为5µm的精密XY级，允许大面积的高分辨率成像。这个XY级由先进的5轴倾斜/旋转电动平台补充，使复杂的纳米结构得以详细检查。该机器包括专有的X射线激光晶片测试技术，允许无机和有机材料的精确成像。这项技术是基于对X射线向采样材料发射时发出的原子的分析，然后对其进行分析以产生样品的图像。KLA Alpha Step D-100包括了广泛的成像工具，如表面地形和缺陷分析。此工具具有评估曲面纹理、曲面缺陷和其他几何形状的能力,放大倍数可达2000倍。这些图像可用于缺陷分析和亚微米特征的精确测量。该资产还配备了一个4端口数字计量站。该站具有高性能、高精度的线性刻度，能够测量直线和曲线特征。该站还配备了一个高精度数字探针，通过在被测量坐标和中央计算机之间集成自动数据传输，大大缩短了数据处理时间。最后，TENCOR Alpha Step D-100还有一套用于数据分析和报告的软件工具。此软件套件专为广泛的应用而设计,包括现场检查、过程开发和最终产品测试。这提供了以尽可能高的准确性生成详细报告的灵活性,并允许对数据进行自定义分析。综上所述，Alpha Step D-100是一种先进的晶圆测试和计量模型，能够对纳米级的材料进行快速和准确的成像。该设备包括专有的X射线技术、广泛的成像工具、4端口数字计量站以及用于数据分析和报告的软件工具。