二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193091 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是为半导体工业设计的晶圆测试和计量设备。该系统允许晶片上和独立测量,从而使用户能够确定晶片的轮廓参数。使用双聚焦光头，该单元提供快速、高精度的测量。光头同时测量两个平面，显着减少了测量时间。KLA Alpha Step IQ具有用于晶圆垂直运动的电动z级。这使机器能够在广泛的深度范围内进行非接触测量。该工具具有独特的光学探测器组合，具有集成的自动准直器和非接触式光学显微镜。前者提供低至一微米的测量值，后者可实现高达几毫米的测量值。TENCOR ALPHASTEP IQ提供晶圆表面的三维测量，从而能够测量轮廓的高度、宽度和角度。资产能够检测小特征，如狭窄的山脊或深谷。此外，该模型还具有支持晶圆对称和剖面测量的特点。用户友好的用户界面允许轻松操作ALPHASTEP IQ。该设备是完全自动化的,可节省多达500次标准测量。它还有一个强大的分析软件GraphScheme，可以在几分钟内解释收集到的数据。除了晶片测试外，KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ还具有极紫外线（EUV）掩模检测和模具（DBD）检测等计量学特征。DBD检查检查晶片上的每个模具是否有缺陷,从而可以更精确地进行晶片表征。EUV掩模检查可帮助用户进行光掩模制造,因为它可以检测和测量掩模图样中的缺陷。Alpha Step IQ还配备了几个安全功能，如自动虹膜监控和电源安全窗口。其业界领先的设计确保系统以最小的停机时间运行。总体而言，KLA ALPHASTEP IQ是晶圆测试和计量的强大工具。它为用户提供了更高的准确性和速度,以提高效率和节省时间。