二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193355 待售
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ID: 193355
Stylus surface profiler
P/N 0041047-000
V 100/240
A 1.35
Phases 1
Hz 50/50
Windows XP
Alphastep v 2.1.0
Licence key KT-377A3291U
Mountains Technology 3.9.1 Build 3477
Volcanyon Technology 2.6.1 Build 2004.7.8
Board Firmware 2.03
Board Version 2.01.
KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一个晶圆测试和计量平台,能够在广泛的设备几何形状上对样品进行无损表征。它具有高分辨率、低噪声扫描平台,具有多种自动化功能,可精确测量特征边缘和轮廓特性。设备使用光学散射法测量样品特征的形状和大小。然后对捕获的图像进行数字分析,以提供有关样本尺寸的详细信息。KLA Alpha Step IQ能够对光伏面板和MEMS传感器等关键设备进行调查,并通过光学散射法全面表征步骤、沟槽和病毒。自动晶圆对准和参考校准使系统成为多步计量和缺陷检测的理想平台。它提供定性和定量分析,包括3 D轮廓映射、厚度测量和电场模拟。通过强大的数据采集和分析工具相结合,TENCOR ALPHASTEP IQ可以提供广泛的分析能力。TENCOR Alpha Step IQ融合了高速HeNe激光和多个光学探测器,提供了无与伦比的灵敏度和分辨率。其高精度的X/Y/Z级和先进的机动化成像功能允许对尺寸不超过200 mm的样品进行成像和分析。它还可以一次容纳多达6个样品用于高通量样品处理。此外,它还提供多种操作模式,包括基准测试模式和自动化模式。Alpha Step IQ是高度可定制的,使研究人员能够根据其特定要求定制该单元。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ具有直观的用户界面和强大的软件开发工具,为设备分析提供了理想的平台。该机器还与标准的LabVIEW软件兼容,方便地集成到现有的实验室流程中。综上所述,KLA ALPHASTEP IQ是一个先进的晶圆测试和计量平台,允许对样品进行无损表征,提供定性和定量分析。该工具的高速激光系统和卓越的成像能力使其成为多步计量和缺陷检测的理想平台。ALPHASTEP IQ凭借其可自定义的功能、强大的数据采集和分析工具以及标准的LabVIEW兼容性,使研究人员能够根据自己的特定需求定制其资产。
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