二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293593018 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种晶圆测试和计量设备，提供跨晶圆表面的电气性能的自动化、高通量测量。系统集成的硬件和软件套件使用户能够减少流程优化时间,同时提高晶圆质量。KLA Alpha Step IQ平台的硬件组件包括计量阶段、成像模块、静电卡盘和各种光源。舞台设有高精度运动控制单元，用于样品表面的精确扫描。集成成像元件是一种具有自动调焦和波长控制功能的高精度光学显微镜。静电卡盘为晶片测试提供了精确、均匀的电气环境。而光源设计有选择地检测晶圆表面的电性能或地形特征。TENCOR ALPHASTEP IQ的测量工具套件的测量/测试/检查步骤有助于快速识别过程偏移,并使用户能够排除过程问题。它支持广泛的2D和3D计量技术，包括电气、残余电荷成像（RCI）、光谱反射成像（SRI）和原子力显微镜（AFM）。在电气计量应用中,其工具套件可实现高分辨率晶体管通道长度和栅极宽度测量、接触片电阻（CSR）测量和片材电阻映射（SRM）,以及电流电压（IV）和电容电压（CV）测量。该软件套件旨在自动化和简化晶圆制造过程。它包含一套算法和软件例程，便于执行计量例程，如数据采集、分析和报告生成。此外，该软件还具有一套先进的模式识别和分析算法。这使机器能够快速检测过程像差,即使样品的大小、形状或电气特性有所不同。此外,Alpha Step IQ平台还提供连接选项,包括基于以太网的连接、用于电压或电流输出的模拟端口以及用于图像的脉冲输出,从而使用户能够灵活地将该工具与任何自动化或机器人技术平台集成在一起。为了进一步扩展资产的功能，用户可以添加可选模块，如单个晶圆分光光度计。总体而言,KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ是一种先进的晶圆测试和计量模型,可提供高吞吐量、准确性和可靠性。其全面的硬件和软件组件使晶圆制造设施能够缩短工艺优化时间并优化工艺性能。