二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293610543 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种经过优化的高通量晶圆测试和计量设备,可确保高效测试、过程控制和设备表征。该系统提供了高级检查功能,同时通过提供一系列模式的准确、可重复和可跟踪的测量来保持强大的制造能力。KLA Alpha Step IQ最多包含两个独立的处理室和高级软件算法，以实现对设备地形的快速准确测量，如临界尺寸和线/空间宽度。该装置提供了对各种工艺步骤的快速和可靠的检查，包括光刻、蚀刻和薄膜沉积。利用先进的光学显微镜，TENCOR ALPHASTEP IQ可以比常规光学显微镜更高的精度和速度测量表面粗糙度、蚀刻深度、CD均匀度、抗厚度和线条/空间宽度。镜像诊断和成像用于确保最高保真度测量。TENCOR Alpha Step IQ结合了无铬计量模式,实现了临界尺寸的无与伦比的重复性和准确性,即使在具有挑战性的芯片设计上也是如此..应用于检查和分析数据的高级软件算法有助于保持严格的CD规范。该机还包括光学覆盖测量，以确保高度精确的过程控制。除了这些功能外,KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ还提供高级报告功能,包括一系列图形和显示选项,以确保完整了解流程的结果。通过使用统计过程控制，工具可以识别个别过程偏差并分析整个过程，提供快速隔离、研究和应对潜在过程问题的手段。总之，Alpha Step IQ是一种先进的晶圆测试和计量资产，为晶圆处理和器件表征提供了高效、准确、可靠的方法。该模型提供了从临界尺寸和线/空间宽度到表面粗糙度、蚀刻深度和抗厚度等一系列阵列的快速、准确的测量。高级软件算法有助于维护严格的CD规范,并且分析整个过程有助于快速识别和响应潜在的过程问题。