二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293647760 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种自动化晶片测试和计量设备，设计用于检查和测量半导体晶片上的纳米尺度特征。KLA Alpha Step IQ结合了3 D光学显微镜、共聚焦显微镜、临界维度扫描电子显微镜（CD-SEM）、图像分析工具等众多功能，实现了快速、准确、可重复的晶片检测过程。该系统非常适合处理各种晶片类型和尺寸，包括300 mm和200 mm直径的介电和光学显微光刻晶片。集成的3D光学显微镜可捕捉尺寸小于5nm的特征图像,而共聚焦显微镜可捕获尺寸小于3nm的特征。此外,CD-SEM能够测量临界尺寸（CD）和材料均匀性,并具有高精度和重复性。该单元还提供了一套功能强大的软件工具来补充其晶圆检测能力。软件套件包括多种高级图像处理算法、增强的缺陷分析工具和图像缝合功能。这些工具旨在最大限度地减少分析数据所需的时间,并提高用户的准确性和生产率。TENCOR ALPHASTEP IQ还具有许多自动化功能,旨在使晶圆检测更加容易。自动光学导航使扫描图像之间的导航速度更快、效率更高。自动校准确保每个成像步骤都能达到峰值精度。此外,"自动光束检测"和"自动对焦"功能可确保每个图像自动准确、彻底聚焦。ALPHASTEP IQ也可以定制到特定的晶圆，为用户提供最大的灵活性。可自定义的软件设置允许用户根据自己的特定要求优化计算机。这使得KLA ALPHASTEP IQ成为精密晶圆检测和测量应用的理想选择。