二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293671815 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种晶圆测试和计量设备，用于三维光学检查。它由高精度和高精度步高测量模块、高速全场光学显微镜和具有先进缺陷检测、缺陷分类和过程监控分析算法的模式识别模块组成。该系统设计用于检查半导体晶片和基板上的全场、地形和光学临界缺陷。全场光学显微镜由高分辨率、高灵敏度立体摄像机、低噪声CCD检测单元和高精度自动定位机组成。这种组合工具可以准确地捕捉晶圆表面的地形和缺陷图像。它还可以检测和分析高分辨率探针和纳米探针，以进行额外的计量测量。高精度和高精度步高测量模块以极高的精度和精确度测量晶圆的剃须刀薄表面地形。此模块Inch可以检测晶圆表面上的微小颠簸和加工工件,从而确保高度的过程/产品控制。此外，这一资产能够测量材料特征的高度和横向尺寸，这些特征对于微电子设备制造过程至关重要。模式识别模块采用先进算法对缺陷进行检测和分类。此外,此模块还可以自动测量关键过程参数,以进行过程监控和表征。该模型可以检测和分类颗粒、划痕、微短裤等物理缺陷。此外，模式识别模块还能够分析晶体缺陷、分层、氧化和提升残留物等缺陷的独特光学特征。KLA Alpha Step IQ能够测量扁平晶片的地形特性以及具有广泛地形剖面的复杂地形模式，如晶圆弓和晶圆倾斜。此外,设备还能够执行非接触式计量测量,如特征大小、长宽比和地形。它还能够测量晶片的反射率、透射率和折射率等光学特性。总体而言，TENCOR ALPHASTEP IQ是一种先进的晶圆测试和计量系统，与同级别的系统相比，提供了更高的准确性和性能。其精度、精度和缺陷检测能力使其成为半导体制造的理想选择。