二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293673412 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种自动测试和计量工具，用于测量半导体晶片的薄膜厚度和其他特性。该设备采用了具有毫角分辨率的先进干涉仪和针孔膜片，用于快速剖面。KLA Alpha Step IQ设计用于测量样品而无需样品制备。它可以很容易地测量模具变化、污染物、粗糙度、薄膜粒度、薄膜厚度和其他表面性能。该系统利用来自He-Ne激光源的红外光产生可见干涉图样，这些图样是用电荷耦合器件（CCD）相机传感器捕获的。通过对干涉图样的分析，可以准确测量晶圆的特性。TENCOR ALPHASTEP IQ所采用的复杂算法利用1-D和2-D快速傅立叶变换来分析干涉条纹图样，并从晶圆表面提取界面数据。这些数据被转换成晶圆曲面的厚度映射，用于确定顶层和底层的厚度。ALPHASTEP IQ提供多种硬件配置,以实现关键的计量应用,例如薄膜堆栈、载波晶片和MEMS组件的测量。专门的配置甚至使单位能够在三个轴上测量三维结构和装置。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ也能够提供亚微米剖面的表面快速扫描测量。TENCOR Alpha Step IQ是KLA组合的宝贵补充，因其优越的计量能力。其全自动性能消除了手动测量的需要，从而减少了半导体晶片测量的误差，提高了测量效率。与手动测量设备相比,该机器还提供了更高的吞吐量和更短的周期时间。此外,KLA ALPHASTEP IQ还提供了与TENCOR集成软件工具套件的完全兼容性,从而实现了优化的数据分析、自动化分析和报告。