二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293682500 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种先进的晶圆测试和计量设备，能够测量晶圆表面特征，具有无与伦比的精度和可重复性。在其核心，KLA Alpha Step IQ依靠尖端专利技术将晶片通过扫描床传输，然后利用其激光器检查和绘制到纳米级的表面特征。光电二极管用于测量来自每个测量点的反射，以确定晶圆表面的地形。这种光电二极管测量用于构建晶圆表面的3维"轮廓"图。这张轮廓图以全面和高度详细的方式表示晶圆的形状和表面地形。该系统能够测量各种晶圆表面特征，包括步高、轮廓、曲率半径、坡度和平坦度。这些测量的准确性非常高,在大多数应用中,可重复性通常优于0.5nm。使用高度先进的电子和光学设备,TENCOR ALPHASTEP IQ单元可实现极快的扫描-通常只需几秒钟即可完成整个200 mm晶圆的测量-从而实现快速吞吐量和过程反馈。该机器还提供了强大的内置分析功能,可轻松对不同晶圆批量的过程结果进行复杂的统计分析。此外,离线分析工具也可用于进一步优化流程。最后,Alpha Step IQ包括各种配件,包括专用夹具和探测臂,使测量技术具有灵活性,并与当今大多数晶圆测试和计量设备兼容。总体而言,ALPHASTEP IQ是一种通用且高性能的晶圆测试和计量工具,能够提供高精度的测量并提供无与伦比的过程优化功能。