二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9135156 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体制造中的过程监测和分析。它将光学成像与多个传感器相结合，以快速识别和测量关键制造节点上晶片上的各种缺陷。KLA Alpha Step IQ系统将硬件和软件组件集成到一个软件包中，为高吞吐量的大型生产批量提供全面的分析能力。该单元包括一个运输和固定晶片到位的自动处理平台，一个捕获缺陷图像进行分析的光学传感器阵列，以及一个用于控制机器功能的集成电子封装。TENCOR ALPHASTEP IQ配备了精选的高级图像处理算法，使得晶圆上的二维缺陷能够全自动检测和分类。该工具可以识别参数化的不规则性，如晶圆上的步长不稳定性、临界尺寸（CD）误差和缺乏均匀性。它还对晶片特征进行分类,并计算测试部件的故障概率（POF）。TENCOR Alpha Step IQ还提供了现代半导体制造所需的生产监控能力。它可以与实时缺陷反馈集成,并可以实时监控流程的性能,从而提供跨流程节点的流程稳定性信息。利用此功能,资产可以帮助确保从一个晶圆到另一个晶圆的最佳产品质量,从而降低生产成本并提高产量。总体而言,Alpha Step IQ模型是现代半导体制造的宝贵工具,可为制造商提供缺陷筛选、过程监控和计量方面的高级功能。它代表了优化生产成本、过程控制和产量的强大解决方桉。