二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9200158 待售

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ID: 9200158
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step IQ是下一代晶圆测试和计量设备。该系统用于精确测量和检查范围广泛的晶圆参数,包括表面地形、电阻率和其他光学特性。KLA Alpha Step IQ具有可配置的平台,它提供了检查各种晶圆尺寸所需的灵活性,从传统的¼英寸和2英寸尺寸到更大的300 mm晶圆。该单元具有先进的计量能力,具有无与伦比的测量能力,包括高精度纳米级地形测量、频率响应测量和纳米级电阻率测量。这些测量能力得到了TENCOR ALPHASTEP IQ上AI驱动的触觉识别算法的支持。本机可通过专用触觉探针分析紧密表面地形。探针可以检测小到100 nm的特征,从而使工具能够识别和识别晶圆表面上的不同类型的缺陷。此外,ALPHASTEP IQ还提供了一系列自动化过程,以降低人工成本并简化制造过程。它有内置的图像处理软件,可以自动在晶圆上拾取特征,其集成的随机缺陷检测算法可以识别人眼可能看不见的小缺陷。该资产还提供了先进的自动晶圆映射功能,从而提高了缺陷检测的一致性和准确性。最后,KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ提供了一个直观的用户界面,使模型操作简单易用。这有助于对使用这些设备的人员进行快速培训,并有助于高效的操作和维护。所有操作,包括参数设置、数据采集和配置都可以从中央控制站快速轻松地进行。综上所述,Alpha Step IQ是一个功能强大的晶圆测试和计量系统,具有一系列可配置的选项,能够有效测量和检测晶圆缺陷。它的自动化过程和用户界面使其成为满足一系列晶圆检查和计量需求的理想解决方桉。
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