二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9215025 待售

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ID: 9215025
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一款功能强大的晶圆测试和计量设备,能够实现前所未有的精度和吞吐量。IQ的设计目的是以比以往更高的精度和速度检查和分析半导体晶片,以及扫描缺陷并提供宝贵的工艺洞察力。KLA Alpha Step IQ基于KLA专有的白光共聚焦成像技术。这样可以提高精度和速度,因为白光和共焦成像可以为每个晶片的表面创建3D-measurement记录。这些记录提供了任何缺陷的自上而下的视图,构成了整个晶圆测试的重要组成部分。测试过程还包括收集实时晶片表面信息,这些信息可以在多个测量中跟踪,从而确保可重复的结果和卓越的检测能力。智商的一个独特特点是先进的自我校准程序,它使系统保持最大精度运行,同时也保持结果的数据完整性。TENCOR ALPHASTEP IQ也通过了ISO/IEC 17025校准和报告套件要求的认证。这允许以比以前更高的精度来标准化测量,这样不同的用户就可以在不同的智商系统之间检索、分析和比较数据,而无需人工计算。此外,该单元还能够利用多种光谱技术同时分析样品,如粗糙度、临界尺寸、反射率和地形。除了提供有关晶圆测试结果的实时数据见解外,Alpha Step IQ还通过易于使用的数据分析软件简化了计量操作,可以减少数据收集和分析所花费的时间。该设备还有助于降低运营成本和提高整体效率,因为每个ALPHASTEP IQ都不需要额外的硬件。利用TENCOR Alpha Step IQ计量和晶圆检测机,TENCOR和KLA/TENCOR使得提供晶圆测试和计量比以往更高的精度和速度成为可能。该工具消除了对专用硬件的需求,并利用专有的白光共聚焦成像技术和先进的自我校准来提供可靠、可重复的结果,从而以节省成本和时间的方式简化了计量操作。
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