二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9229842 待售

KLA / TENCOR Alpha Step IQ
ID: 9229842
晶圆大小: 6"
Profiler, 6".
KLA/TENCOR Alpha Step IQ是为半导体纳米光刻的高级工艺控制而设计的先进晶圆测试和计量设备。它具有许多强大的功能,可确保满足现代半导体制造工艺所需的质量水平。KLA Alpha Step IQ是一个基于成像的系统,允许用户创建具有纳米分辨率的完整晶圆表面的图像。它利用高NA(数值孔径)光学器件,在专门的光束传递和成像附件的帮助下,检查晶圆的顶部和底部表面。该单元可以检测到各种各样的特征,从亚微米特征到较大的沟槽和其他结构。扫描头由一个X-Y伺服控制的电动机级移动,这为用户提供了令人印象深刻的测量和分析各种晶圆几何特征的能力。机器能够测量大量与晶圆表面相关的关键指标,包括长宽比、临界尺寸、线宽粗糙度、侧壁角度等等。然后可以通过用户界面以图形方式显示这些数据点,或用于创建晶圆曲面的3D映射。还提供高级分析,可以检测高度、角度和其他特征的亚微米变化。许多附加功能使TENCOR ALPHASTEP IQ成为真正强大的晶圆测试和计量工具。可以使用后处理选项(包括基于地图的分析和自动对焦)增强映像功能。此外,还可以捕获和存储图像数据以进行后分析。资产还包括自动晶圆对准功能,以提高精度。总体而言,KLA ALPHASTEP IQ是一个高度先进的晶圆测试和计量模型,是过程控制和半导体纳米光刻的理想选择。它提供了强大的成像和分析特征组合,使其能够检测各种晶圆几何上的各种特征。此外,它的自动对齐功能和后处理选项增加了分析的精确度和准确性。
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