二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9361397 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供晶圆表面上薄膜的高精度测量。该系统基于获得专利的双波长干涉仪设计，可精确测量图案化或非图桉化晶片上的低折射率和高折射率薄膜。KLA Alpha Step IQ采用专利双波长光学干涉技术，结合两个近红外波长测量亚纳米膜厚度。该单元针对包括电介质、光刻胶、抗反射涂层、金属薄膜等不同类型的薄膜进行了优化。与传统的接触计量技术相比，TENCOR ALPHASTEP IQ具有重要的优势，因为它产生了非常精确的非接触分析。机器的Process Monitor Mode（工程监视器模式）提供晶圆表面的实时检查,识别任何缺陷或偏差。TENCORalphaStepIQ噪声低、精度高，也是检测微量污染、剖面粗糙度的理想选择。Alpha Step IQ提供卓越的重复性、晶片到晶片以及刀具到刀具。这使用户能够获得一致的测量结果,从而无需频繁校准。这样可以减少检查的时间和成本,同时保持高精度的测量。该工具是一个通用的晶圆测试平台，提供了一系列的开发、分析和审查功能，为用户提供了极致的灵活性。KLA ALPHASTEP IQ可以提供3D线轮廓、临界阈值曲线和缺陷表征报告。这些功能使用户能够快速诊断设备问题并优化其制造过程。ALPHASTEP IQ是一种紧凑的工具，设计用于实验室环境以及生产线环境中的操作。它是测量薄膜的经济高效的资产,具有独特的设计和高级组件,使其成为可靠、可靠、准确的晶圆测试和计量平台。