二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9361399 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一种晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体行业的严格要求。它将先进的光学和光学装配与硬件加速算法相结合，以实现光学元件的快速、准确和可重复的计量。它以先进的软件和硬件为基础，由高速成像系统、光学优化计量算法和专利光学干涉测量单元组成。该平台提供晶圆的三维地形图像，能够快速检查半导体晶圆表面。晶片的最大尺寸为200 mm,跨越晶片的步长可达16,000步,成像分辨率为1nm或更高。正在申请专利的干扰机器能够测量低至1nm的特性，采样分辨率为0.5nm/步。光学组件包括一个光栅工具来产生干涉图样，用于对具有不同材料或地形的晶片进行高对比度成像。这样可以更好地检测小特征和曲面。KLA Alpha Step IQ提供高级分析和报告功能,最多可执行16,000个步骤,支持更集中的数据和自动校准/对齐。它的自动对齐能力能够精确控制成像参数，其报告能力为精确计量和微米级分辨率提供了广泛的分析。其完整的图形用户界面为自定义分析提供了简单直观的设计。TENCOR ALPHASTEP IQ包括先进的光学、光学组装和成像系统，也提供实时反馈以随时间调整参数。它由一个功能强大的软件包控制，带有嵌入式实时操作资产来管理数据收集、分析和报告生成。该软件是可自定义的,为数据管理提供了多种分析工具。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ平台的设计旨在确保计量的精确度和准确性,从而提高半导体器件制造的效率和更快的周转时间。它为高级设备设计提供了可扩展的性能,提高了制造产量的潜力,并保证了更高的可靠性。该产品适合用于各种材料和基材,使半导体设备工程师能够获得有效设计和优化所需的信息。