二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293605775 待售

KLA/TENCOR ASET F5是一种晶圆测试和计量设备，设计用于集成电路的高通量和精确分析。该系统能够进行光学检查、缺陷审查和各种其他测试。KLA ASET-F5旨在最大限度地提高高容量晶圆厂和先进半导体器件制造设施的产量。该单元采用了最新的技术，如TruMap光学检测机和AlphaStep Surface Metrology。TruMap工具使用高分辨率光学器件来"捕捉"晶片，允许缺陷检测和识别顶级和高宽高比缺陷。TruMap还允许非常高效的缺陷审查过程。AlphaStep Surface Metrology测量物理参数,如电阻率和板材电阻。它以非破坏性和非接触的方式做到这一点，提供了晶圆特征模式的更准确的表示。该资产能够在晶圆电阻率和薄片电阻的测量之间切换，从而提供了更大的灵活性和准确性的机会。TENCOR ASET F5型号还包括用于缺陷审查的高分辨率成像设备。该系统允许快速检查和识别缺陷。该单元包括窄带成像、线扫描成像、全晶圆映射和缺陷取向映射等特征。所有这些功能为用户提供了晶圆及其表面的完整视图。该机还具有高精度的产量监控工具。此资产可逐个过程监控收益,并可提供设备上任何潜在故障或问题的预警。产量监测系统对于维护和优化流程以确保高产量和设备质量非常宝贵。最后，ASET-F5型号还包括一个安全事件记录器。该记录器可用于保存所有晶圆测试和计量操作的记录，允许用户追溯任何设备或工艺问题，并确保只生产质量设备。综上所述，KLA/TENCOR ASET F5是一种晶圆测试和计量设备，设计用于集成电路的高通量和精确分析。它利用最新的技术,具有TruMap光学检查、AlphaStep Surface Metrology、高分辨率成像和安全事件记录器等功能。该系统为实现高产量和设备质量提供了一个全面的平台,使制造商能够最大限度地提高大批量晶圆铸造厂的产量。