二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293812633 待售

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293812633
晶圆大小: 8"
Thin Film measurement system, 8".
KLA/TENCOR ASET F5是KLA设计制造的先进而全面的晶圆测试和计量设备。它配备了高分辨率成像和光学显微镜,允许对晶片表面进行高级检查,并对晶片特性进行高级测量,以满足现代半导体制造工艺的不同要求。KLA ASET-F5系统包括几个关键组件,如用于自动扫描和检查的多轴级、用于成像和计量的动态光学伙伴、用于控制焦点深度的自动对焦单元以及用于测量晶片3D形状的干涉仪。集成软件包使控制机器变得容易,并允许用户快速分析和检查晶圆。该工具还具有一个晶圆矢量模块,该模块允许向量数据导出到外部系统,从而能够映射晶圆上的缺陷。该资产允许结合光散射技术和暗场技术来检测各种缺陷,包括外来粒子、位错和地下破坏。此外,TENCOR ASET F5还具有多种图像处理工具,可用于识别和隔离缺陷,从而实现快速准确的分析。KLA/TENCOR ASET-F5还包括一个强大的数据管理模型,它允许结构化存储和检索晶圆相关数据。设备存储各种数据,包括晶圆几何形状、材料属性和晶圆特定结果。可以根据用户定义的标准对数据进行分析和分析以生成报告。然后可以使用该报告就晶圆以及如何最好地进行决策做出明智的决定。最后,系统配备了与平台无关的接口,使其与广泛的组件和接口类型兼容。这允许用户将KLA/TENCOR ASET F5单元整合到他们现有的生产线中。该机还具有各种用户友好的功能,如定制的温度控制和各种层次的自动化,使其用户友好且易于在任何环境中使用。总体而言,KLA ASET F5是现代半导体制造工艺先进而全面的测试和计量的绝佳工具。该资产包括几个关键组件和一个功能强大的数据管理模型,可以轻松分析数据并与其他系统无缝集成。平台不可知界面使其与广泛的元件和界面类型兼容,使其成为任何生产线的合适选择。
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