二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293814192 待售

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293814192
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5是一种用于半导体生产的自动化晶圆测试和计量设备。该系统旨在提供快速的吞吐量和对各种晶圆参数的准确分析。它在半导体工业中被广泛采用,因为它能够在最小的工作量和用户干预下可靠地并行处理多个晶片。KLA ASET-F5利用具有集成光学模块和CCD摄像机的干涉仪精确测量一系列参数,包括晶圆薄度、厚度变化、平面度、平面度、共面度、经度、甚至圆度。它还包括一个可用于检查晶片表面缺陷的表面成像单元。该机器设计用于在短时间内快速测量大量晶片。可以将不同尺寸的晶片加载到工具上,并且可以自定义检测率以减少批次间的停机时间。该资产还具有自动晶片处理模型,可以将晶片加载到设备或卸载,而无需操作员干预。TENCOR ASET F5能够分析各种各样的晶圆类型和材料。它可以精确测量具有不同背景、材料和结构的晶片,包括石英晶片、硅晶片、高温过渡金属晶片等。它还带有各种可调参数,可用于优化不同类型晶圆的测量。系统还有一个集成的软件套件,使用户能够控制单元,创建定制的测量计划,并分析结果。使用此软件,用户可以轻松创建自定义报告,使他们能够分析晶圆参数的趋势并跟踪不同生产批次的性能。此软件还允许远程访问以进行远程监视或控制。总体而言,ASET-F5旨在以快速、高效的方式对各种晶片进行精确、自动化的测试。其自动化的晶圆处理机、通用的检测率设置、集成的软件套件,以及测量各种晶圆类型的能力,使其成为半导体行业生产线强大可靠的工具。
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