二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293825602 待售
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ID: 293825602
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 1999
Film thickness measurement system, 8"-12"
Wafer holder and chuck
Robot and handler
Laser
Blower unit
Card cage and board
Cassette type: F5W
PC
1999 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5是一种晶圆测试和计量设备，设计用于在极小的水平上测试晶圆性能。它结合了先进的AFM（原子力显微镜）和电气测试能力，提供了关键设备参数的全面视图。该系统能够检查10 nm分辨率范围内的功能,并配备了一整套集成测试解决方桉。KLA ASET-F5单元提供了几个主要功能,使其能够提供高精度的性能结果。这些功能中的第一个是高级成像功能,它使机器能够在微观层面上拍摄清晰详细的特征图像。成像工具使用了广泛的AFM探针，包括可变聚焦、全向和动态扫描探针，以确保一系列应用的最佳图像质量。成像资产的高分辨率也允许进行高度敏感的测量。TENCOR ASET F 5还包括强大的电气测试功能，包括广泛的电压、电流、电阻和电容测试。先进的电气测试模型结合了硬件、软件和校准工具，以确保评估晶圆性能的准确可靠的结果。在磨损和污染测试方面，设备提供了高度可重复的结果。它能够检测肉眼看不见的缺陷，也可以在集成TDR（时域反射仪）迹线上测量小至10um的接触探针的作用力。该系统还具有先进的粒子分析功能，允许用户检测和识别低至2nm的粒子，并评估粒子污染对环境的影响。TENCOR ASET-F5设计用于作为独立单元自动运行或与其他系统集成。它采用具有可调超时设置的RS-232通信协议。该机操作范围广泛，为0至50°C，可通过可选的动力冷却模块实现超过15小时的不间断运行。TENCOR ASET-F 5是一种功能强大且全面的晶圆测试和计量工具,可提供广泛的成像和电气测试功能,用于晶圆性能评估。它的自动操作以及强大的AFM和电气测试功能使其成为从半导体和材料科学到研发等一系列行业的理想选择。
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