二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293827457 待售

KLA/TENCOR ASET F5是为半导体生产线使用而设计的晶圆测试和计量设备。它可以快速准确地测量、检查和分析直径最大为12英寸的晶片的性能。该系统提供了一套技术、流程和软件程序，以提高测试和计量操作的潜在准确性和灵活性。从基板级别到单个设备检查和特性鉴定,KLA ASET-F5在吞吐量和准确性方面都提供了无与伦比的性能。其晶圆检测和计量能力包括：高NA 3D光学和CD-SEM能力，用于模式识别技术的OBIRCH（光束感应电阻变化）和低k介电层计量。TENCOR ASET F5利用KLA专利的X扫描技术从晶圆样品中捕获图像，即使在最恶劣的环境条件下也能产生更好的重复性。该单元还配备了高端光学封装和最新软件，提供精确的成像和精确的3D重建。此外，该机具有精确的自动化，以确保可靠的晶圆处理和清洁的气体注入外壳，以维持ISO级4洁净室条件。该工具还具有双级样品定位资产，用于精确对准和样品安装，用于掩模和裸晶片检查。晶圆计量模型还配备了可定制的样品制备站。这包括各种样品制备工具，如清洁、升降机、样品支架以及各种晶圆级包装和CMP工具。这允许用户为特定应用程序选择最合适的准备工具。最后,设备包括一套功能强大的数据分析工具。这允许处理、可视化和分析晶圆检查和计量工具生成的所有图像和数据。软件工具还提供了对晶圆质量和工艺性能的可操作的洞察力,以及全面纠正措施的平台。KLA/TENCOR ASET-F5是一个高度先进的系统，为半导体生产线提供无与伦比的性能、精度和灵活性。该单元具有全面的特性和功能，是晶圆测试和计量的宝贵工具。