二手 KLA / TENCOR ASET F5x #293826779 待售
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ID: 293826779
晶圆大小: 12"
Film thickness measurement system, 12"
DBS and SE
Lens: 1x, 4x, 15x
Automated wafer loading/unloading
FOUP Handler and processor
FOUP Loading and unloading port
Controlled XY stage
Wafer breakage rate: <1 per 25,000
Diameter: 300±2.0 mm
Thickness: 775 ±20 μm
Edge exclusion: 1.5 mm
Wavelength: 220 to 780 mm
SEMI and CE Certification
LCD monitor
PC.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种自动化晶圆测试和计量设备,旨在提高半导体器件生产的速度、精度和产量。该系统能够检查晶片的所有区域并测量其精确尺寸,从而能够快速调整生产。它还执行测试模式运行和其他计量功能,例如测量设备的导电性、均匀性和平坦性。KLA ASET-F5X利用高精度扫描级对晶片进行高精度的检测和测量。这些阶段可以在x和y方向上移动晶片,从而完全覆盖整个区域。舞台还具有旋转定位,使单位能够测量三维器件几何形状。台阶由无刷电机驱动,提供极快平滑的变换,具有高精度和控制能力。该机器还具有先进的软件,允许精确定制检查和测试程序。这包括自动图像识别、模式识别和晶圆/设备测试。软件还可以跟踪数据并创建详细的生产报告。TENCOR ASET F 5 X设计用于精度和速度至关重要的大批量生产环境。它可以远程或手动控制,并具有许多安全功能,例如卡纸/热传感器和过热/电压保护。这个工具也非常可靠和经济高效,使得它成为任何生产设施的绝佳选择。
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