二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9182371 待售

KLA/TENCOR ASET F5x是一种最先进的晶圆测试和计量设备,旨在测量当今先进半导体器件的物理特性。其先进的光学和成像功能使其能够检测和精确测量诸如特征大小、地形高度和宽度以及缺陷密度和位置等参数。此功能强大的系统可快速高效地分析大量样品,提供高级分析以确保设备制造和可靠性。KLA ASET-F5X利用光学显微镜对样品晶片进行成像。显微镜为不同类型的工作配备了多种透镜，使用户能够选择最合适的放大倍率和分辨率。此外,电动采样级允许在预先设定的高度和深度对采样进行独立的X轴和Y轴扫描。TENCOR ASET F 5 X结合了先进的自动化检测技术，使用一套算法检测各种缺陷。它能够检测颠簸、开放性缺陷、凹坑、划痕、微裂纹和其他结构，而人工干预最少。其三维三维形状传感能力保证了缺陷精确定位在晶片上，并对结果进行了准确的存储和呈现。该F5x是一个先进的计量单位，配备了前沿校准和测量能力。它能够精确测量晶片的几何形状，并提供详细的地形图和数据。它的高精度计量特征是基于一种称为电阻扫描激光干涉测量（RSLI）的专有三角测量方法。这种方法可以快速检测到一纳米大小的缺陷。KLA在设计KLA/TENCOR ASET F5 X时考虑了人体工程学和用户友好性。该机器包括一系列明亮、清晰的液晶屏,使用户能够监控操作而不会产生压力。该工具还具有直观的图形用户界面（GUI）,可轻松访问众多功能。总而言之，KLA ASET F5 X是一个令人印象深刻的晶圆测试和计量资产。它提供了丰富的高级功能,如自动缺陷检测、地形测量和高级计量。其用户友好的设计和直观的GUI使其成为晶圆测试和计量的强大而简单的工具。