二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9229841 待售
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ID: 9229841
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Thin film measurement system, 12"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DVD/RW Drive
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard and trackball
Ethernet PCIA Card
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种晶圆测试和计量设备，提供经济高效、高通量、精确的半导体晶圆测量。这样就可以快速准确地分析生产过程的性能和产量。该系统由多个子系统组成，包括光学成像、计量和缺陷审查。光学子系统采用了全面、最先进的显示技术，为晶圆上的缺陷提供了卓越的分辨率和检测能力。这包括使用高量子效率的CMOS型（电荷耦合器件）传感器，改善背景噪声水平以提供更高的精度和对比度。除了光学成像之外，该单元还提供独特的图像分析算法组合，以优化分类和检测潜在缺陷。计量子系统提供了对关键器件参数的高度精确的测定。它能够从大面积采样并评估一系列晶圆大小和厚度的吞吐量。这台机器还提供了优越的晶圆映射以及使用全场成像对晶圆的特定区域进行详细表征的能力。缺陷审查子系统集成了先进的图像质量指标和统计缺陷验证技术，以帮助准确识别和分类任何潜在问题。它能够提供缺陷类型、趋势、发生、区域、起源和位置的完整分析。子系统还提供了一个功能强大的软件解决方桉,可有效地管理和完善测试配方,确保快速发现任何潜在问题。总之，KLA ASET-F5X晶片测试和计量工具是一种先进的仪器，可以对半导体晶片进行可靠、准确和经济高效的测量。资产能够有效控制生产过程，减少浪费，提高产量。其高度精确的成像、计量和缺陷审查功能使其成为任何半导体制造工厂的宝贵工具。
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