二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9232878 待售
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ID: 9232878
晶圆大小: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard & trackball
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种晶圆测试和计量设备,专为半导体、内存、数据存储、光电子、显示器和光掩模等多个行业的先进过程控制而设计。该系统为晶圆测试和计量提供了高精度和可重复性，实现了缺陷自动检测和分析。该F5x单元集成了360°非接触、基于视觉的计量和测试解决方桉,包括：光学聚焦/散焦、表面粗糙度、光谱反射率、CD/宽度、覆盖、不透明遮罩缺陷、蚀刻台阶高度和材料分析。采用先进的数字光学、精密光学、运动板、光束组合器、模式识别技术和图像分析技术，便于对样品晶片进行精确分析。此外，该机配备了最新的半导体生产控制工具（SPCS）和X射线技术，提供精确的实时测量和控制，以及全自动模式识别和纠错机制。这有助于最大程度地检测缺陷并最大程度地减少错误警报。KLA ASET-F5X适用于高容量晶圆测试和计量，具有高速度、重复性和低拥有成本。其直观的用户界面可以量身定制以满足操作要求，并支持多种语言，包括英语、日语、韩语、中文和德语。资产的一流性能和鲁棒性已被证明支持各种计量应用和质量控制需求。这有助于客户保持最高级别的过程控制,确保产品质量,并提供稳定的生产环境。
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