二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9240202 待售
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ID: 9240202
晶圆大小: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Open cassette, 8"
Spectroscopic ellipsometer
Dual-beam spectrometer (DBS)
Xenon light source: Wavelength range 220 nm to 800 nm
DBS Spot sizes: 2.7 um, 10 um, 40 um
Pattern recognition (PatMax)
2.8-GHz Pentium-IV Star bright computer
Hard drive: 80-Gb IDE
DDR RAM: 512-Mb
Ethernet PCIA card: 10 Base-T and 10 Base-100 communications protocol
Operating system: Windows XP
Flat-panel display: 17-inch color LCD
Keyboard and trackball
DVD / RW Drive and Floppy disk drive, 3.5"
DVDR / RW Blank diskette
Start-up kit
Modular wafer handler
With dual open cassette back of cabinet
Standard SE
Pattern recognition patmax
Platen single finger, 200 / 300
P4 Computer, 2.8 GHz
PCA, Matrox orion, Frame Grab, PCI
220 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR ASET F5x是专门为半导体行业设计的高性能晶圆测试和计量设备。它提供了多种特性来提供精确可靠的晶片测量、处理和表征。该系统由模块化晶片工作站、晶片处理机、台式机处理器和显示器组成。KLA ASET-F5X的晶圆站是一个自动晶圆处理单元，高度遵守工艺配方。它设计用于处理多种晶片尺寸，因此可以很容易地适应各种生产程序。还可以远程访问该机器,使其成为远程过程控制的理想选择。独特的晶片处理特性允许晶片的快速加载和卸载。这使工具能够快速工作,从而最大限度地提高吞吐量和准确性。此功能还允许用户从各种自动或手动晶圆处理选项中进行选择。此外,该资产还能够从厚度高达6mm的晶圆表面收集数据。台式机处理器为用户提供直观的界面和处理能力来分析收集到的数据。此处理器包括板载图形用户界面（GUI）,可为数据管理提供友好且易于使用的环境。集成了数据采集和数据分析能力的模块化体系结构，利用高端信号处理技术实现了高精度晶圆分析。TENCOR ASET F 5 X的显示为用户提供了一个宽视场。这允许用户通过显示过程测量的实时视图来快速监控晶圆测试和计量过程。显示屏还配备了可选的触摸屏功能,可在与型号菜单和设置连接时提供更大的控制和灵活性。TENCOR ASET F5x是一种综合的晶圆测试和计量设备，将精度和性能与易用性相结合。ASET F5x具有模块化体系结构、易用性和广泛的晶圆处理能力,是半导体生产工艺的绝佳选择。
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