二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9240546 待售
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已售出
ID: 9240546
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2003
Film thickness measurement system, 8"-12"
8" Conversion: Insert type
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse & keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save & classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness & RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D & 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE & DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion (Save everything, Hard Disk Drive (HDD))
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Project
Signal tower
Wafer breakage: ≤ 1/100,000 Cycles
S3 Handler
Options:
GEM SEMI E30-98
SECS II SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种用于晶圆测试和计量的多传感器计量设备。它旨在对晶片样品中的各层进行可靠和精确的测量，包括硅、金属层和有机层。其多组分检测技术用于测试样品的电性能和物理结构。该系统由多轴平台、高分辨率级和高质量成像单元组成。多轴平台具有高精度高速移动样品晶片的能力，使测试机能够快速收集各种各样的数据。高分辨率阶段是高度精确的，允许工具测量晶圆的性能下降到纳米级。成像资产使用光学技术检测测试样品的特征，让晶圆测试人员洞察样品的结构。KLA ASET-F5X的设计考虑到了最高级别的功能。它易于使用,具有用户友好的基于Web的界面以及自动化和手动测试过程。由于其强大的算法和精确的仪器，该模型能够在几分钟内提供高精度的测量。它还配备了实时反馈，让工程师能够实时监控数据，对测试过程进行实时调整。TENCOR ASET F5 X利用先进的显微镜技术，如电子显微镜，以及常规的光学成像来建立测试样品的图像。显微镜技术提供了有关样品特性的详细信息，而光学成像则允许测试人员以非侵入性的方式测量样品的特性。这样就可以有效地收集测试晶片内各种参数的准确读数。该设备设计得非常坚固可靠，能够进行高吞吐量的测试和准确的结果。该系统还设计用于高性能，允许高分辨率测量和提高精度。该单元是半导体和电子测试的理想解决方桉，为各种晶圆应用提供快速、可靠和精确的数据。
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