二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9251592 待售

KLA / TENCOR ASET F5x
ID: 9251592
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 12" 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种晶圆测试和计量设备,最适合广泛的应用,如故障分析、产量管理、缺陷控制、器件表征、半导体器件开发和过程监控。KLA ASET-F5X能够对10纳米以下的所有集成电路层进行测量。它旨在为当今复杂的设计提供多用途、精密的功能和关键测量的快速融合,从高长宽比的复杂几何到最复杂的特征。该系统利用高分辨率成像单元进行特征检查和测量,连接到高精度3D级进行晶圆定位和扫描。此外,还可以连接电气测量的电气探测站。为了从试样中获得最可靠的数据,TENCOR ASET F5 X配备了尖端光学机器。此工具提供高分辨率成像,具有更大的景深、更好的对比度以及更好的边缘、侧壁和关键特征的分辨率。这一先进的光学资产与先进的彩色成像技术、脉冲激发技术和色彩增强算法等支持性技术相结合。此外,KLA/TENCOR ASET-F5X还使用图像处理和测量软件快速分析和报告结果,例如大小和形状、特征对比以及有缺陷或缺失的粒子、颠簸和其他细节。该模型还有一个综合自动化框架,旨在尽量减少人工干预,同时最大限度地提高效率和准确性。此框架使用户能够创建、存储和运行自动晶圆检查场景和测量。这些方桉甚至可以扩展到包括特定特征的自定义测量。此外,KLA ASET F5 X具有完全的环境控制。这包括温度控制、湿度控制以及晶圆表和成像元件的光控制,都是为了保证结果的准确性。总体而言,KLA ASET F5x是一种先进、先进的设备,使企业和组织能够全面分析、检查和测量复杂的集成电路设计。它提供了一系列功能和特性,非常适合用于故障分析、产量管理、缺陷控制、设备表征以及半导体设备开发和过程监控。
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