二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9254566 待售
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ID: 9254566
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 8"
Cassette interface:
Open handler with (2) open cassette stations
PRI / EQUIPE Wafer handling robot with dual end actuator
BROOKS PRE-300B-CE Pre aligner
Main tool:
Spectroscopic Ellipsometer (SE)
Xe Xenon light source
D2 Lamp
Controller type: PC
Computer
Floppy drive: 3.5" (1.44 MB)
Castle wood drive: 2.2 GB
Color VGA monitor
Keyboard / Trackball
Facility requirements:
CDA
Vacuum
Power supply: 208 VAC, 8.5 A, Single phase, 3-Wire, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种晶圆测试和计量设备，设计用于计量和缺陷审查应用。利用最新、最先进的检测系统,提高了关键缺陷检测性能.该单元旨在满足全面缺陷检测和提高产量的关键和复杂要求。它还被设计为提供更广泛的自动化晶圆测试、计量和缺陷审查功能。该机配备了顺序扫描技术，与缺陷检测和调试工具无缝集成。集成技术有助于提高流程性能并缩短吞吐量时间。它具有集成的有源光学传感器（AOS）,可捕获最具挑战性的缺陷特征,其分辨率和吞吐量速度明显高于其它产品。KLA ASET-F5X旨在增强现有和计划中的KLA/TECON成像系统的软件功能。它还与现有设备无缝集成，提供自动封装分析仪、封装应力测量、照片面部成像、翻新以及广泛的高级插槽操作。它带有一个用于晶片和光致抗蚀剂检查的自动光学检查工具。它旨在连接到各种光学和子系统,使用户能够配置、自定义和自动化其当前和将来的测试和计量过程。该资产还支持多种软件工具，包括TENCOR实时流程监控、KLA/TENCOR Auto Focus、基于KLA流的缺陷检测等等。TENCOR ASET F5 X模型为测试、计量和缺陷审查应用提供了完整的解决方桉。该设备具有先进的检测技术和较高的吞吐量速度,专为高端计量和缺陷评审应用而设计。它提供了广泛的自动化晶圆测试、计量和缺陷审查功能。该系统旨在与当前和今后的所有成像、检查和计量系统配合使用。它旨在提高关键缺陷检测性能并缩短吞吐量时间。
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