二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9263174 待售

KLA/TENCOR ASET F5x是一种先进的晶圆测试和计量设备，利用下一代光学和声学技术对半导体晶圆进行全面、快速、可靠、经济高效的测试和检验。该系统提供了广泛的自动缺陷检查和计量功能,此外还支持几种晶圆几何形状和过程设置,以便快速检测和测量晶圆上的缺陷。KLA ASET-F5X利用激光散射、散射法和光学对比度成像（OCI）等先进的光学和声学技术,为线缘粗糙度（LER）、线宽和迭加测量等关键应用提供高分辨率和可重复的结果。该单元配备了多台摄像机，以光学背面和正面成像模式获取晶圆及其处理层的高分辨率图像，并对单个特征和缺陷的高分辨率图像进行显微镜检查。该机还能够检测到各种缺陷和工艺相关特性，具有卓越的速度和精度。这是通过精密的算法来实现的，这些算法可以识别粒子、滑动、断裂、凹坑、丘陵、楔子等等。该工具还包含一个基于深度学习的自动缺陷分类器，能够准确识别异常模式和结构缺陷，从而实现对过程控制的可靠反馈。此外，TENCOR ASET F 5 X支持大量计量应用，如可追溯尺寸测量、随机散射成像、全芯片区域扫描映射、临界过程参数计量等。资产附带集成晶圆缓冲和机器人晶圆处理，使其能够并行运行多次高速检查和计量。这样可以确保及时、准确地获取和评估数据。KLA/TENCOR ASET-F5X是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量工具。它在广泛的应用程序中提供了高精度、速度和可重复性,同时还提供了对过程控制反馈的可靠访问,以实现优化的产量。该模型还得到全面的技术支持和应用工程的支持,以帮助用户满足其特定需求。