二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9269734 待售

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KLA / TENCOR ASET F5x
已售出
ID: 9269734
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 12" (2) Load ports Handler, 8"-12" Operating system: Windows XP Service Pack 3 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种最先进的晶圆测试和计量设备,用于为半导体行业提供准确可靠的测量。该系统为各种应用程序(如高级逻辑和内存技术)提供了可扩展的解决方桉。该F5x是一个全自动的视觉引导机器人设备,可实现高吞吐量和数据准确性。该F5x采用5倍光学放大机,具有大视场(FOV)测量能力和高达5 um的小特征分辨率,使该工具能够捕获各种数据和截面扫描。该资产还能够测量各种电气参数,如晶圆电阻、电容和泄漏值。该F5x包括一系列高效、可靠和模块化的组件,如用于快速装卸的多自由机器人,用于精确对准测试点的高速自动对焦镜头,以及用于复杂图像处理的现场可编程阵列(FPGA)。此外,该模型还提供各种可选组件和检测器,以适应不同的应用要求。KLA设计了具有全面软件套件的F5x设备,以实现可扩展性、可扩展性和易用性。软件套件提供高级编程工具和模块,以实现高速分析和控制测量结果。在软件方面,系统能够提供灵活、可重复和可靠的数据收集和存储测试方法。TENCOR F5x单元的设计是为了满足半导体行业的大批量生产要求。利用F5x机器将提供快速的周转时间,降低拥有成本,提高产量和过程控制。此工具将使制造商能够优化设备性能并提高整体流程效率。
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