二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9273934 待售

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KLA / TENCOR ASET F5x
已售出
ID: 9273934
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Film thickness measurement system, 12" (2) Ports (Asyst ISO ports) BROOKS (Robot and aligner) Stage Fail: T-AMP Robot controller Missing parts: X / Y /Z AMP 2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x晶圆测试和计量设备旨在满足业界对无损、高端检测、计量和缺陷审查的需求。该系统能够从各种基板和掩模收集数据,包括半导体、平板、光掩模、生物掩模、MEM和硬盘盘片。该单元以两台高速相机、五台激光、四种光学技术和先进软件为特色。这些相机能够捕捉高分辨率的基板和口罩图像,最大视场最大可达5.5英寸。这五种激光器为高性能缺陷检测和模式识别提供了亮场和暗场照明。四种光学技术提供了检查各种类型和尺寸样品的灵活性,包括200毫米和300毫米晶圆。KLA ASET-F5X使用专有的高性能、功能丰富的软件平台,为用户控制缺陷审查、计量和检查。功能包括虚拟检查工作流、自动样本排序、带有3D图形的缺陷查看、图像放大、自动记分卡分析、属性管理和距离测量。该机器还允许远程访问和数据共享。TENCOR ASET F5 X晶片测试和计量工具具有先进、高科技的特点,使其成为需要强大、可靠、准确的晶片测试和计量解决方桉的实验室专业人员的绝佳选择。此资产能够快速准确地保证质量,识别和分析缺陷,等等。它使用简单、可靠、功能强大,足以满足生产级运营的需求。
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