二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9300883 待售

KLA/TENCOR ASET F5x是一种晶圆测试和计量设备，用于精确分析和测量晶圆上的半导体特征。具体而言，系统使用先进的成像和图样识别技术来检测、测量和评估半导体晶圆表面的小尺寸特征，以确保生产中的高质量和准确性。该单元由多个单独的组件组成，包括一个光学显微镜站、一个样本运动站、一个综合图像和基于干涉测量的计量实验室，以及一个自动化的方法开发和验证机器。KLA ASET-F5X内的光学显微镜站利用自适应光学增强了制造特征的对比度和分辨率，优化了捕获的图像质量。利用该站生成的高清图像，利用先进的模式识别技术来识别、测量和分析小半导体特征的关键特征。资产的样品运动站提供精确的运动控制，以确保适当的晶圆对准、高效率和可重复性，以便在不同的位置进行测试。此外，该站还允许模型进行快速的非接触面特征测量。综合图像测量学实验室对晶圆上突出的线条和螺距特征进行精确的尺寸测量。这包括表征局部线条特征（包括桥接、宽度和高度）以及全局线条特征（如步长和线条宽度均匀性）的能力。自动化的方法开发和验证设备有助于确保整个测试过程的准确性和可重复性。这是通过集成先进的光学和计算智能来快速评估和对特征错误做出反应的。此外，TENCOR ASET F 5 X还提供了多种可选模块和软件包，以进一步增强其定制解决方桉的计量能力。其中包括用于广域成像、高分辨率检查、临界尺寸测量和缺陷检查的模块。总之，KLA ASET F5x是一个综合晶片测试和计量系统，利用先进的成像和模式识别技术检测和测量晶片上的小半导体特征，以确保生产的高质量和准确性。该单元有多种可选模块和软件包可供选择,适用于各种行业的使用。