二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9361861 待售
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已售出
ID: 9361861
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 12"
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy Disk Drive (FDD) / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness and RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D and 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Signal tower
Wafer breakage
Options:
GEM SEMI E30-98
SECSⅡ SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一种晶圆测试和计量设备,旨在为半导体制造行业提供高通量、高可靠性的数据。该系统允许用户以最小的人工干预来快速评估晶片特性，包括介电特性、材料成分和材料均匀性。KLA ASET-F5X模型设计用于快速、准确地检测和测量各种测试结构上样品的介电泄漏电流、电阻和电容,作为在线计量或电气测试的一部分。该单元提供快速、可靠的测量，溢出排泄率超过99.99%。功能强大的板载处理器管理测量数据,用户可以将多个测试夹具和过程存储为预设库的一部分。该装置采用紧凑的台式设计，非常适合集成到现有的半导体制造装配线中。该机具有高分辨率、径向激光对准工具、可编程隔振平台和四轮电动主轴台，可高效定位晶圆。这允许精确且可重复的样本定位和对齐,从而减少了围绕资产移动样本所需的时间。TENCOR ASET F 5 X除了具备高性能的能力外，还包装了安全特性。该型号提供全面的过电压保护、局部互锁和短路保护，以确保操作员和设备硬件的安全。它还配有一个移动紧急停止装置和一个用于单点连接的集成电源。KLA/TENCOR ASET-F5X是需要高速、可靠、精确晶圆测试和计量的用户的理想选择。它提供卓越的吞吐量和可重复性以及业界领先的安全功能,使其成为希望简化其操作的半导体制造工厂的理想选择。
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