二手 KLA / TENCOR ATI I Surfscan #9292752 待售

KLA/TENCOR ATI I Surfscan是用于制造集成电路和半导体器件的最先进的晶圆测试和计量设备。它是一个高度精确可靠的自动化表面缺陷检测系统，能够检测晶圆和纳米结构中的微观缺陷。该单元设计用于执行两个基本操作：表面扫描和计量。表面扫描涉及对晶片表面执行诊断扫描,以识别晶片上的任何表面缺陷。机器配备了特殊的透镜和照明工具，使其能够检测晶圆表面的微观缺陷。这使得它能够识别缺陷，包括划痕、表面微粒以及肉眼看不见的其他特征。计量是测量晶圆和相关器件特性的过程。使用KLA ATI I Surfscan,操作员可以测量各种计量参数,包括宽度、长度、偏转、倾斜、轮廓和厚度。资产的高级功能允许操作员以无与伦比的精度测量整个晶片和3D纳米结构。除了成像和计量功能外,该模型还可提供数据分析和报告功能。扫描和计量过程中的数据可以传送到外部数据库或收集到设备中以作进一步分析。这有助于操作员创建有关晶圆的条件和质量的全面报告。操作员还可以生成自定义报告和图表,以识别测量数据中的趋势和异常。总体而言，TENCOR ATI I Surfscan是晶圆制造和半导体器件应用的宝贵工具。它可以帮助操作员识别微观缺陷、测量设备属性以及分析数据以用于报告目的。通过利用此系统,操作员可以优化其流程以提高效率和质量保证。