二手 KLA / TENCOR C2C/FT #9409302 待售

KLA C2C/FT是一种晶片测试和计量设备，为半导体和光伏晶片的检测提供高分辨率成像和精确的参数测量。它具有可配置的平台,支持多种工艺技术,旨在增强3D产量分析。该系统能够使用多种成像模式，如亮场/暗场、光谱学和显微镜来捕捉图像并获得精确的测量。它还提供了自动缺陷放置和分类、粒子级缺陷检测、晶圆对晶圆比较等。其专利光谱成像技术消除了荧光滤波器的需要，可以精确检测模具和/或电路检查的参数，如光伏电池和相关组件。C2C/FT单元具有高性能的精密级,具有自适应区域模式光束缝合技术,可实现快速的即时扫描和校准,有助于提高吞吐量水平。完全集成的实时缺陷审查可实现实时分析和洞察力缺陷表征。该机先进的人工智能能力促进了精确的计量和自动化的过程控制。此外,该工具还提供集成的智能流程监视和控制资产,可提供实时诊断、流程计量、数据提取和分析。它具有多路复用体系结构和多光谱/模具级成像功能,可确保数据准确可靠,周转时间快。该模型可在无晶圆厂环境中运行，非常适合先进的光学和半导体光刻、CMP、抛光和高级缺陷还原等多种工艺。总体而言，TENCOR C2C/FT是一种先进的晶圆测试和计量设备，为半导体和光伏晶圆提供成像、参数测量和缺陷表征。其可配置的平台和高性能功能非常适合减少缺陷级别和优化过程控制。