二手 KLA / TENCOR Candela 6100 #293597437 待售
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KLA/TENCOR Candela 6100是一种晶圆测试和计量设备，设计用于对半导体制造厂生产的晶圆的物理特性进行精确和可重复的测量。该系统配备了全场、可变源光度成像单元、全场高放大显微镜和3D激光剖面仪。这种强大的成像和计量功能组合为用户提供了晶圆过程控制的有效工具。全场成像机能够在亮场和暗场照明下捕捉晶圆的完整图像。亮场成像有助于揭示地形缺陷，而暗场成像则揭示在正常检查下可能无法检测到的颗粒或颗粒。此外，成像工具可以检测标记缺陷的存在，最小尺寸为1.5微米，并检测晶圆表面的涂层损耗。全场高放大显微镜允许您识别和测量关键参数,如迭加目标和关键尺寸。显微镜配有10倍至100倍变焦镜头，工作距离400mm，以及三种不同的照明模式--关闭/开启/激光--用于识别不同的参数。通过自动扫描，它还可以提供对整个晶片表面的分析，允许更精确的测量。三维激光剖面仪可用于验证金属和介电层的精度。Profiler装有两个雷射源、两个线规和两个照相机。激光源用于测量图层的厚度、蚀刻速率、线宽和表面拓扑,而线标则用于测量线宽、线缘粗糙度和轮廓。剖面仪可测量厚度达760微米、直径200毫米的晶片。总体而言，KLA Candela 6100是一种最先进的晶片测试和计量资产，能够精确测量半导体晶片的物理特性。凭借其强大的成像和计量功能,用户可以自信地跟踪其工艺性能,验证其产品的准确性,并最终提高产量。
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