二手 KLA / TENCOR Candela C2 #9277067 待售

ID: 9277067
Defect inspection system.
KLA/TENCOR Candela C2是一款先进的晶圆测试和计量设备,将晶圆扫描、测试和检查以及成像能力结合在一个集成平台中。KLA Candela C2系统为半导体器件制造提供了优化的测试和测量解决方桉。TENCOR C2单元的设计满足了半导体器件制造业的苛刻要求。其高精度的测试和计量能力确保了晶圆特性的准确和可靠表征,如电气和光学特性、缺陷密度和地形。它由一个自动处理程序、一个自动晶圆探测器、一个光学显微镜和一个扫描电子显微镜组成,它们都能够在各种晶圆应用中进行高精度测量。自动晶片探测器能够按顺序测试多达38个晶片,并提供广泛的探测能力。TENCOR Candela C2机的光学显微镜提供了具有五种不同成像模式的高分辨率成像能力,可用于缺陷映射和工艺质量控制。集成扫描电子显微镜允许精确测量晶圆,分辨率低至0.1微米。它还包括一个能量色散X射线光谱仪(EDS),使工具能够分析材料组成。最后,资产连接到一组计量平台,如干涉仪、散射仪和表面剖面仪,从而能够对设备结构进行更详细的探测。C2以其可靠性和高性能以及适应不断变化的测试和计量要求的能力而闻名。它还得益于条形码晶圆跟踪、自动数据处理和远程访问等多项功能,允许用户从任何位置监视其操作。总体而言,KLA/TENCOR C2模型是一种令人印象深刻的多合一晶圆测试和计量设备,能够准确可靠地表征晶圆特性。其集成的设计、高精度以及广泛的测试和计量能力使其成为半导体器件制造商的理想选择。
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