二手 KLA / TENCOR Candela CS1 #9399871 待售
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KLA Candela CS-1是为半导体器件制造设计的晶圆测试和计量设备。该系统提供晶圆和集成电路(IC)封装的高分辨率光学检查,以检测任何粒子、缺陷和其他异常。它具有自动晶圆处理单元、先进的照明系统和高速图像捕获功能。该机还包括图像分析和分类软件,用于检测小颗粒、缺陷和其他异常。Candela CS-1采用模块化设计,允许用户自定义配置工具以满足其特定需求。该资产有几个照明选项,以加强晶圆成像和缺陷检测。这些照明系统包括亮场、暗场、边缘照明、偏振光和紫外线照明。自动晶片处理模型是为高吞吐量而设计的,允许自动晶片清洗和晶片加载。设备也是可扩展的,允许额外的显微镜模块。该系统包括一个内置的图像捕捉单元,提供即使是最小特征大小的高分辨率图像。图像捕捉机包括彩色CCD相机和从5X到200X的放大倍数范围。它还包括图像捕获、图像分析和分类的图像捕获软件。TENCOR Candela CS-1提供晶圆级电气测试和过程控制功能,如自动电压和电流控制。该工具设计为与许多不同的晶圆工艺兼容,包括光刻、组装、切割和抛光。此外,该资产还包括一个测试模型,可用于执行缺陷检测和设备表征。该设备可提供有关电容、泄漏电流、电阻、击穿电压和电流漂移等器件关键参数的详细信息。Candela CS-1系统还提供了一个综合数据管理单元。数据管理机器提供了功能强大的报告工具,使用户能够快速、轻松地生成有关设备性能、缺陷检测和过程控制的报告。用户还可以访问和分析历史数据,以快速识别和解决制造过程中的任何问题领域。总体而言,KLA/TENCOR Candela CS-1资产是检测和表征半导体器件的有力工具。该模型提供高分辨率成像,广泛的照明系统,先进的图像捕获技术,过程控制功能,以及综合数据管理,用于一个全面的晶圆检验和计量设备。
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