二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #293626641 待售

KLA/TENCOR Candela CS10是一种高性能晶圆测试和计量设备。该系统旨在通过检测缺陷、测量设备的电性能和提供数据以更好地了解制造过程来帮助制造商提高产品产量。该CS10利用一套自动化的精确晶片测试仪来支持各种尺寸可达300 mm的晶片。一个微波电动机用于提供精确的X、Y和Z晶圆定位，允许对精确的临界尺寸进行敏感的测量。电动直线级提供高精度、可控的表面采样。该CS10使用高分辨率光学检查传感器和图像处理算法来检测晶圆上的粒子、缺陷和损坏的表面。多激光检测、电荷注入装置和贴片测试技术提供了对器件层、基板和径向距离的精确监测。该CS10还采用自动光学对准装置，消除人为错误，提高效率。该CS10提供晶圆表面、边缘、平坦度和接触孔的快速、精确的晶圆计量数据。集成的垂直和水平轮廓测量传感器测量设备的临界尺寸，并在3D中收集腐蚀和粗糙度信息。自动激光标记还可以追踪晶片。该CS10支持广泛的综合计量解决方桉，包括复杂的特征分析和晶圆参数的制定。它还支持用户定义的光谱测量和信号分析，以更深入地了解制造设备的过程。该CS10提供了与软件工具和数据库的全面连接,从而简化了操作并提高了数据可靠性。该机器还支持集中化应用程序,如LMIS,并提供可扩展性和灵活性,以满足不断变化的需求。最后,KLA CANDELA CS-10为客户提供准确可靠的晶圆测试和计量解决方桉.凭借其先进的功能、高精度和可扩展性,制造商可以从提高产量和生产率中受益。