二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #293637902 待售
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KLA/TENCOR Candela CS10是一种晶圆测试和计量设备,其设计目的是为半导体应用提供卓越的精度和高通量。该系统能够处理300 mm以下的晶片,同时进行接触和非接触测量,以及自动数据分析和报告。该单元采用高分辨率光学显微镜和自动自动聚焦和波长校准机,允许用户检查晶体缺陷,测量总厚度变化,并通过地形确定。刀具的4端口双头表面剖面仪能够捕获中间层、高长宽比和窄而深的通孔。此外,该资产还包括两个粒子传感器、两个彩色3D映射传感器和两个散射测量仪器,使用户能够快速准确地测量和分析表面饰面、粒子争议和线缘粗糙度。该模型具有高度可配置性,可以根据特定的应用程序和客户需求进行定制。它还包括一些自动化功能,如集成自动设备识别、专利喷嘴清洁器和全天候监控功能。而且,该系统支持一系列先进算法,使其能够准确表征现代光刻过程中发现的许多非线性效应。因此,用户可以确保其晶片符合规范并始终满足其要求。由于设计精巧,KLA CANDELA CS-10提供了许多优于其他晶圆测试和计量系统的优势。它非常精确,使用户能够测量和分析甚至晶圆性质的最小变化。它还提供高吞吐量,允许快速和可靠的晶圆表征。此外,该设备具有高度可配置性,包括许多高级和自动化功能,可确保用户充分利用其测试和计量机。
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