二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #9179263 待售

KLA/TENCOR Candela CS10是一种晶圆测试和计量系统,用于晶圆的高精度计量,包括临界尺寸（CD）和迭加等测量。该CS10是Candela系列工具的一部分,它为各种项目提供了广泛的自动检查功能。其中包括对关键缺陷位置的审查、故障分析、过程监视和部分到部分验证。适用于140 nm和90 nm的设计规则,特征提取高达55nm。CS 10先进的晶片处理机制使其易于使用高温晶片（最高500摄氏度）和各种晶片直径（从200毫米到9英寸）。其高速激光干涉仪确保了精确的计量，有效测量速度比前一系统提高了四倍。该CS10具有卓越的晶圆吞吐量和数据精度。它具有强大可靠的探测器，总测量面积近2000平方毫米。高速时,每秒可提供200次测量。该CS10配备了多种光机特性，如扩展测量场、辐射冷却辐射光学器件以及针对速度和精度进行优化的电机。其基于图像的边缘检测算法能够准确地确定边缘和阶跃高度，用于高级晶圆测量。KLA包括Trace软件套件-该套件有助于获取数据和简化光学系统的处理-以及图形用户界面,它简化了所有经验级别用户的操作。这些特性结合在一起，使CS10成为晶圆计量的理想选择。