二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #9186184 待售

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ID: 9186184
优质的: 2012
Optical surface analyzer Dual-laser optical X-Beam technology (2) Laser paths / (4) Independent wafer surface detection techniques Particle sensitivity on polished silicon wafers: <0.08 Micron Exceptional sensitivity to micro scratches: Automatic wafer surface inspection Defect detection / Classification: 2"-12" Transparent and opaque wafers Kit, 6" Software version: 6.8 2012 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS10晶片测试和计量设备利用先进的成像和计量技术对晶片进行检测,然后再将其用于电子设备制造。该系统利用5轴铰接级来支持有密闭装卸区域的全晶片检查。该CS10有一个新的水平光束路径,减少了操作员的足迹,同时还提供了增强的视场,以增强全局缺陷检测。其先进的光学单元利用步进扫描能力,以无与伦比的焦点和分辨率扫描特异折射扁平标本。它还具有3k x 2k图像捕获分辨率和先进的图像升级技术,可确保更清晰的图像。该CS10配置了最新的成像和计量技术,可在单个仪器中提供多种传感器和分析配置。它经过校准,能够测量从0.1nm到80um的各种信号电平,并评估各种不同厚度的材料,例如高长宽比器件结构和稀释晶片。该CS10与各种工艺化学和广泛的自动化测量算法库兼容。它采用材料自适应技术来处理各种晶圆类型,以及200至800毫米的晶圆形状和尺寸。该CS10为晶片探测提供了广泛的选择,从非接触式光学测量到接触式和非接触式探针,如声学微成像仪、涡流、激光位移映射和缺陷计量。它与用于缺陷计量和半导体过程控制分析的计量工具套件集成在一起。该CS10还具有足够的灵活性,可以安装在现有的生产环境中,而无需任何特殊的布线,而且其高级数据管理功能可确保客户数据的安全存储和严格的机器安全。它可靠且易于使用,提供全面的操作员培训和技术支持。总体而言,KLA CANDELA CS-10是一种可靠和通用的晶片测试和计量工具,它提供最新的成像和计量技术,以确保对各种晶片类型和尺寸进行高质量和准确的检验。对于需要以经济高效的方式快速精确检测缺陷的电子设备制造商来说,它是一个有价值的解决方桉。
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