二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #9226815 待售

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 9226815
Surface inspection system.
KLA/TENCOR Candela CS10是一种晶圆测试和计量设备,利用先进的传感器技术来测量和表征晶圆。它具有快速、准确、灵敏度高的缺陷特征综合检测系统,以及用于精确计量的多传感器计量阶段。该单元还具有使用先进半导体检测算法创建的高精度模模缺陷图。凭借直观、用户友好的设计,该机以经济高效的吞吐量提供卓越的晶圆性能,成为半导体制造的理想之选。CS10工具为晶圆测试提供了先进的技术。它配备了专利的Multi-Sensor Technology,将TE: VISION传感器与机械扫描技术相结合,创造出高精度的缺陷图。此方法有助于识别平面和非平面缺陷,同时提供高分辨率图像。该CS10还包括高精度成像(HPI)功能,允许对模具到模具和模具到栅极电路进行精确测量。KLA CANDELA CS-10资产包括一个用于处理晶圆数据采集、分析和模具分类的复杂软件包。该模型利用了许多可选择的软件模块,以满足特定的客户需求,包括3D检查、缺陷表征、零件到零件分析和产量分析。该软件提供灵活的数据管理和易于使用的图形分析工具,帮助用户深入了解其流程。设备还包括光刻-边缘检测、线缘粗糙度测量、模式识别算法等先进功能。这些工具为缺陷检测和计量任务提供了更全面的方法。此外,该软件还可用于生成用于晶圆级性能评估的精确配置文件。为确保可靠的结果,CS10系统采用自动维护和校准功能进行设计。为避免停机,可以快速、远程地校准设备的卡盘和分级。自动化机器还提供现场健康维护功能,允许远程诊断和故障排除。总之,TENCOR CANDELA CS 10是晶圆测试和计量的一种经济高效的解决方桉。该工具的先进和直观特性提供了可靠和准确的结果,使其成为半导体制造的理想选择。该CS10具有通用的软件选项以及自动维护和校准功能,旨在最大限度地提高生产效率和优化晶圆性能。
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