二手 KLA / TENCOR Candela CS10R #9372904 待售

KLA/TENCOR Candela CS10R是一种晶圆测试和计量设备，用于精密晶圆测试、计量和表征。该系统旨在通过半导体生产线中的工具和磁带工艺、高度控制、形状测量和缺陷分析为工艺工程师提供支持。可用于晶圆映射、缺陷检测、粒子分析等多种应用。该单元包括视觉检测机、光学显微镜和晶圆相机工具，用于检测半导体晶圆上的缺陷和粒子。视觉资产旨在实现高速、高精度的分析,能够快速检测和分类最小的缺陷。光学显微镜支持样品的直接成像，从而实现晶圆的高分辨率视图。这使得能够有效地检测表面地形和结构特征。最后，晶片相机可以对整个晶片表面进行宽视拍摄，使高质量的图像能够用于缺陷检测和分析。该模型与用于分析的尖端软件集成在一起,提供实时过程监控、自动缺陷分类和数据分析。这使流程工程师能够快速发现流程问题并查明任何潜在问题,从而使他们能够对流程进行必要的调整,以提高产量和设备性能。此外,设备还提供一系列自动化处理流程。这包括一个自动晶圆映射系统，该系统可以跟踪晶圆的测量和绘制任何潜在缺陷，以及一个自动晶圆传输单元，它使用机械臂接收晶圆。KLA Candela CS10R为晶圆测试和计量提供功能和自动化的强大组合。它支持快速、准确的缺陷检测和分析,以及自动化的处理和映射过程。这有助于工艺工程师识别和解决半导体生产线的任何问题,从而提高设备性能和产量。