二手 KLA / TENCOR CI-T53P #293635058 待售

KLA/TENCOR CI-T53P是一种晶圆测试和计量设备，设计用于时间到时间的过程控制应用。它是一种独立配置,结合了高级系统体系结构和集成的光机械组件,可提供可靠、高性能的计量服务。该T53P能够执行广泛的过程控制测量,包括电阻率、电阻率测量、氧化物厚度、薄膜质量、临界尺寸（CD）/直径、侧壁角、电流泄漏和深度分析。它还可以从一个观景相机评估计量图像，分析晶片图样特征，如线宽、闸高、悬垂角和遮罩对准。T53P单元的计量能力包括四个关键阶段的综合过程控制和一致的设备制造。T53P中包含用于管理整个流程的高级软件包。软件包括一个直观的图形用户界面，它提供了一个简单的方法来输入设置，生成测试程序和存储测试结果。该机器还配备了一系列强大的统计分析工具，在控制晶圆计量条件和分析水平的同时，进一步定义过程控制结果。该工具的扫描能力提供了有关半导体点结构的详细信息，从而为具有充足测试图像的快速晶圆计量服务铺平了道路。它的"基板互换性工具"能够立即测量复杂的图样并将其与以前的规范进行比较。这有助于确保正确的设计向前发展。T53P资产为大型测试提供了卓越的性能。它具有较大的视野和较高的数据捕获速率,可以快速周转。它还具有直观的操作功能,允许工程师在几秒钟内设置参数、自定义流程流并生成详细结果。该T53P是一个完全集成的模型，具有用于准确测试和分析的所有必要工具。它是用于高级流程控制的多功能一体解决方桉。该设备具有强大的功能,使制造商能够准确识别工艺缺陷,验证其工艺保真度,并保持生产流程正常。