二手 KLA / TENCOR CI-T53P #9254920 待售

KLA/TENCOR CI-T53P是一种先进的自动化晶片测试和计量设备，用于测量、检查和分析硅片上的各种参数。它结合了最新的计量技术、精密的运动控制和强大的过程控制工具，为半导体器件制造过程提供精确和可重现的数据。KLA CI-T53P系统提供两种主要的晶圆分析功能：计量和测试.它的计量能力允许在单个晶圆中测试多个参数，如厚度、船首/经线、宽度和迭加。该装置能够测量0.25微米以内的覆盖层，是先进设备设计中监测覆盖层精度的理想解决方桉。另外，TENCOR CI-T53P可以分析晶片的各种机械参数，如平坦度、表面粗糙度和颗粒污染。CI-T53P台机器还配备了一整套可在单个周期内执行的测试。一个这样的测试是光缺陷检测（PDI），它精确测量晶片上光刻图样的位置、大小和形状。另一个例子是临界尺寸成像（CDI），可用于精确测量细线宽和其他设备特征。这些测试有助于确保产生的晶片没有缺陷,并且设备特性在一定范围内。KLA/TENCOR CI-T53P工具旨在为操作员提供精确和可复制的数据。这是通过直观的资产界面启用的,它允许在使用各种测试工具时集成各种精度。此外，KLA CI-T53P集成了先进的统计过程控制（SPC）工具，以确保每个测试的结果都在所希望的范围内。这样就可以实现广泛的功能,以实现晶圆过程的可追踪性、预测分析和维护。总体而言，TENCOR CI-T53P是一种功能强大的晶圆测试和计量模型，旨在在半导体器件制造过程中提供卓越的精度、精度和可重现的数据。它的高级功能使操作员能够更有效地管理和控制晶圆测试的各种参数。