二手 KLA / TENCOR CTC / FT / FT-500 / FT-530 #293609395 待售

KLA/TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530是一种晶圆测试和计量系统，设计用于半导体晶圆的精密光学测试。它的自动化操作和坚固的设计允许对晶片进行可靠和可重复的测试，具有很高的准确性和可重复性。该系统使用先进的、高分辨率的计量测量和先进的控制算法来精确测量半导体晶圆表面的各种特征，包括地形、CD（临界维度）均匀性和掺杂量。KLA CTC/FT/ FT-500/ FT-530由四个主要单元组成：光头、晶片级、光干涉仪和扫描软件包。光学头是一个高级单元，容纳四个光学，包括一个测量目标，一个参考目标和两个数值目标。这些光学器件一起收集晶圆表面的详细图像，然后将一系列会聚的足迹投射到晶圆表面上。晶片级是一个电动测角仪平台，它精确定位晶片并使其相对于光学器件定向。光学干涉仪是测量位移、位移边界和平坦度的高端单元。该设备使用激光和衍射光栅在晶圆表面上创建干涉图样，然后使用计算机对图样进行分析，提供精确且可重复的平坦度测量。最后，利用扫描软件包实现晶圆测试和计量过程的自动化和控制。该软件使用户能够设置和监视测试过程、分析测量结果和生成报告。此外,软件还包括优化测试过程的各种功能,包括自动回测试功能和自动引用功能。TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530非常适合用于需要精确、可重复测量半导体晶片的精确光学测试应用。该系统的自动化操作和可靠的设计使晶片能够以高精度和可重复性进行可靠和可重复的测试。总体而言,CTC/FT/ FT-500/ FT-530是满足晶圆测试和计量需求的完美解决方桉。